发光二极管晶圆的应力消除装置

摘要

本实用新型涉及发光二极管晶圆的应力消除装置，用于消除一发光二极管晶圆进行研磨后所产生的残留应力，该发光二极管晶圆为固定于一固定台上，本实用新型包含一加压装置与一加热装置，其中该加压装置具有朝该固定台移动的一加压面，以使该加压面与该固定台之间形成置放该发光二极管晶圆的一夹合空间，而该加热装置具有加热提高该发光二极管晶圆温度的一热源产生元件，且该热源产生元件紧邻该加压面设置，据此通过该加压装置的加压整平与该加热装置的加热所产生的退火效果，可消除该发光二极管晶圆表面残留的应力，其设置成本低廉，可满足降低制造成本的需求。

主权项

一种发光二极管晶圆的应力消除装置，用于消除一发光二极管晶圆进行研磨后所产生的残留应力，所述发光二极管晶圆被固定于一固定台上，其特征在于，所述发光二极管晶圆的应力消除装置包含：一加压装置，所述加压装置具有朝所述固定台移动的一加压面，以使所述加压面与所述固定台之间形成放置所述发光二极管晶圆的一夹合空间；一加热装置，所述加热装置具有加热提高所述发光二极管晶圆温度的一热源产生元件，且所述热源产生元件紧邻所述加压面设置。