一种用于生产过程加热需要的冷热测针

摘要

本实用新型提供了一种用于生产过程加热需要的冷热测针，包括机体，其特征在于：在机体的操作面上设有手动推拉的平移滑板，平移滑板底部设有平移机构，在平移滑板上设有可360度旋转的旋转板，在平移滑板的前端设有手动平移推拉杆，在手动平移推拉杆上设有弹簧，至少两个测量笔设于平移滑板的后方，测量笔通过四氟材料架架空，在至少两个测量笔中的一个测量笔的笔头下设有加热线圈，在机体的操作面设有放置万用表的平面，万用表的表笔接在测量笔上，在加热线圈及四氟管的下方设有气管接口，气管接口管路连接设于机体表面的压缩空气进气接口。本实用新型的优点是：提供了一种用于生产过程中的冷热测针，通过该装置能够更为精确得为硅片进行加热。

主权项

一种用于生产过程加热需要的冷热测针，包括机体（1），其特征在于：在机体（1）的操作面上设有手动推拉的平移滑板（5），平移滑板（5）底部设有平移机构，在平移滑板（5）上设有可360度旋转的旋转板（6），在旋转板（6）的边上设有定片条（7），在平移滑板（5）的前端设有手动平移推拉杆（8），在手动平移推拉杆（8）上设有弹簧（9），在弹簧（9）的末端设有弹簧助力板（10），弹簧助力板（10）固定在机体（1）上，至少两个测量笔（11）设于平移滑板（5）的后方，测量笔（11）通过四氟材料架架空，在测量笔（11）的尾部架设有四氟管（12），在至少两个测量笔（11）中的一个测量笔（11）的笔头下设有加热线圈（13），在机体（1）的操作面设有放置万用表（15）的平面，万用表（15）的表笔（16）接在测量笔（11）上，在加热线圈（13）及四氟管（12）的下方设有气管接口（20），气管接口（20）管路连接设于机体（1）表面的压缩空气进气接口（3）。