微电子加工流水线冷却水的节能型温度调功系统

摘要

本实用新型涉及一种微电子加工流水线冷却水的节能型温度调功系统，包括顶部温度控制单元和平均温度控制单元，顶部温度控制单元由水箱、电压调整器及加热元件、制冷机、蒸发器、调功器、水温传感器、循环泵及平衡阀、PLC控制器、上水套和顶壁温度传感器组成，采用连续加热-分级制冷调功模式的串级温度控制方式，顶部温度控制主回路中使用第一，二调功器和电压调整器对水箱中的加热元件按照电加热热源函数进行连续加热控制；根据水温设定值和输出值，利用算法分段函数由第一，二调功器和PLC控制器来控制第一至第四制冷机的启闭。本实用新型用于微电子流水线，实现冷却水的无级调节和系统节能。

主权项

一种微电子加工流水线冷却水的节能型温度调功系统，包括顶部温度控制单元和平均温度控制单元，其特征在于：所述顶部温度控制单元主要由水箱（1）、电压调整器（5）及加热元件（3）、制冷机、蒸发器（4）、调功器、水温传感器（8）、循环泵（9）及平衡阀（11）、PLC控制器、上水套（2）和顶壁温度传感器（10）组成，水箱（1）内设有与电压调整器（5）相连的加热元件（3）、与制冷机连接的蒸发器（4）、水温传感器（8），水箱（1）出水口经循环泵（9）和上水套（2）中的平衡阀（11）与水箱（1）回水口连接， 上水套（2）中的顶壁温度传感器（10）经顶部温度控制单元中的第一，二调功器（6，7）与电压调整器（5）连接，第一调功器（6）信号输入端还与顶部温度设定器（12）连接，并且第二调功器（7）输出端经PLC控制器与第一至第四制冷机（C21，C22，C23，C24）连接形成顶部温度控制主回路；水箱（1）中的水温传感器（8）信号输出端与第二调功器（7）信号输入端连接形成顶部温度控制副回路。