发明名称 绘制表面轮廓的方法和装置
摘要 本发明公开一种绘制表面轮廓的方法和装置。该方法包括:沿至少两个方向依次地向目标物体投射狭缝图案光,以获得由目标物体反射的图案图像,根据方向使用图案图像获得高度,获得示出高度的最大变化方向的矢量场,获得与至少两个方向对应的高度的可靠性指数,使用可靠性指数和矢量场获得整合的矢量场,以及,使用整合的矢量场计算目标物体的每个位置的高度。因此,提高了精确度。
申请公布号 CN102538706A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201110376531.7 申请日期 2011.11.21
申请人 株式会社高永科技 发明人 叶夫根尼·沃罗比耶夫
分类号 G01B11/25(2006.01)I 主分类号 G01B11/25(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 顾红霞;段斌
主权项 一种绘制表面轮廓的方法,包括:沿至少两个方向依次地向目标物体投射狭缝图案光,以获得由所述目标物体反射的图案图像;根据所述方向使用图案图像获得高度;获得示出高度的最大变化方向的矢量场;获得与至少两个方向对应的高度的可靠性指数;使用所述可靠性指数和所述矢量场获得整合的矢量场;以及使用所述整合的矢量场计算所述目标物体的每个位置的高度。
地址 韩国首尔