| 发明名称 | 板状体的研磨装置以及板状体的研磨方法 | ||
| 摘要 | 一种板状体的研磨装置，其特征在于，该板状体的研磨装置具备：为了吸附并保持板状体的主表面中的第一面而构成的挤压垫；以及按压于所述板状体的所述主表面中的第二面，为了研磨该第二面而构成的研磨垫，位于所述板状体的边部的外侧附近的挤压垫沿该边部热收缩，并被压接。 | ||
| 申请公布号 | CN102548709A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201080030176.1 | 申请日期 | 2010.07.01 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 森下顺也;舟山吉幸;甲斐辰彦 |
| 分类号 | B24B37/04(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B37/20(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2012.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王凝;陆锦华 |
| 主权项 | 一种板状体的研磨装置，其特征在于，具备：为了吸附并保持板状体的主表面中的第一面而构成的挤压垫；以及按压于所述板状体的所述主表面中的第二面，为了研磨该第二面而构成的研磨垫，位于所述板状体的边部的外侧附近的挤压垫沿该边部热收缩，并被压接。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||