一种提高TCO膜光透射率的激光辅助表面处理方法

摘要

本发明涉及TCO膜，特指一种提高TCO膜光透射率的激光辅助表面处理方法，结合激光表面微处理方法对透明导电氧化物薄膜（TCO膜）表面进行辅助处理，以提高其光透射率，可适用于SnO2、In2O3、ZnO及其掺杂体系（如FTO、ITO、AZO）的TCO膜材料。

主权项

一种提高TCO膜光透射率的激光辅助表面处理方法，包括TCO膜样品清洗的步骤、TCO膜样品的定位的步骤、采用飞秒激光器或纳秒激光器激光表面微处理的步骤、样品表面清理的步骤，其特征在于：所述采用飞秒激光器或纳秒激光器激光表面微处理的步骤为：飞秒激光器或纳秒激光器输出的激光束经过滤波片后由半透半反镜分为两束，一束由能量探头接收，实时测量出激光能量；另一束经过衰减镜、光闸、全反镜、扩束镜、双振镜后由场镜聚焦并作用于已定位好的TCO膜样品表面，采用激光点扫描、线扫描和面扫描对TCO膜样品表面进行处理；对于飞秒激光，激光能量10~100 μJ、激光脉冲作用点直径50~150 μm、扫描速度1~200 mm/s；对于纳秒激光，激光能量10~100 μJ、激光脉冲作用点直径30~100 μm、扫描速度1~200 mm/s。