| 摘要 |
본 발명은 특히 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 광학 장치에 관한 것이며, 상기 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 광학 장치는 적어도 하나의 광학 요소(110, 210) 및 상기 광학 요소(110, 210)에 대한 지지 요소(120, 220)를 포함하며, 상기 광학 요소(110, 210) 및 상기 지지 요소(120, 220)는 적어도 3개의 디커플링 요소(131, 132, 133; 231, 232, 233)에 의해 서로 연결되고, 상기 디커플링 요소(131, 132, 133; 231, 232, 233)는 상기 광학 요소(110, 210) 및 상기 지지 요소(120, 220)와 모놀리식으로 형성된다. |
