一种磁控溅射近距离中频孪生靶

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射近距离中频孪生靶，主要是有靶门、阴极座、密封圈、冷却水道、磁场连接块、磁场固定块、周边固定块、中间固定块、固定螺丝，其特征在于：靶门上装有阴极座，阴极座周边嵌着密封圈，阴极座间装有冷却水道，磁场连接块和磁场固定块装在阴极座上，周边固定块与靶门阴极座和中间固定块相连，固定螺丝与两阴极座相连。本实用新型由于采用上述结构，直接用周边固定块、中间固定块固定孪生靶，减小了两个孪生靶的间距，在不改变箱体大小的情况下加大阴极座的宽度，这样能提高溅射面积，提高磁控溅射效率，增大产能。

主权项

一种磁控溅射近距离中频孪生靶，主要是有靶门、阴极座、密封圈、冷却水道、磁场连接块、磁场固定块、周边固定块、中间固定块、固定螺丝，其特征在于：靶门上装有阴极座，阴极座周边嵌着密封圈，阴极座间装有冷却水道，磁场连接块和磁场固定块装在阴极座上，周边固定块与靶门阴极座和中间固定块相连，固定螺丝与两阴极座相连。