一种平面并联三自由度精密操作平台

摘要

本发明公开了一种平面并联三自由度精密操作平台，其包括底座、布置在底座上方的载物台；在底座上固定连接三个支架，载物台通过三根柔性传动连杆与三个支架相互连接；三根柔性传动连杆围绕着载物台分布，每根柔性传动连杆的一端固定连接在载物台上，另一端和与其对应的支架固定连接；每根柔性传动连杆上粘贴电阻应变片和压电双精片；支架与柔性传动连杆的连接部的几何中心的两两连线构成三角形；柔性传动连杆与载物台的连接部的几何中心的两两连线构成另一三角形；电阻应变片和压电双晶片接一用于使载物台实现平面二自由度移动运动和绕其几何中心的转动运动的闭环反馈控制系统。本发明具有结构简单、安装空间小、运动精度和定位精度高的优点。

主权项

一种平面并联三自由度精密操作平台，其特征在于：包括底座（1）、布置在底座（1）上方的载物台（2）；在所述底座（1）上固定连接有三个支架（6、9、20），所述载物台（2）通过三根柔性传动连杆（3、12、17）与三个支架（6、9、20）相互连接；所述三根柔性传动连杆（3、12、17）围绕着载物台（2）分布，每根柔性传动连杆的一端固定连接在载物台（2）上，另一端和与其对应的支架固定连接；每根柔性传动连杆上粘贴有电阻应变片和压电双精片；三个支架（6、9、20）与三根柔性传动连杆（3、12、17）的连接部的几何中心（C、B、A），它们的两两连线构成三角形（ABC）；三根柔性传动连杆（3、12、17）与载物台（2）的连接部的几何中心（F、E、D），它们的两两连线构成另一三角形（DEF）；上述电阻应变片和压电双晶片接一用于使载物台实现平面二自由度移动运动和绕其几何中心的转动运动的闭环反馈控制系统。