测量方法和测量装置

摘要

本发明涉及测量方法和测量装置。本发明提供了通过使用测量装置测量包含非球面的测量目标表面的表面形状的测量方法，该测量装置包含将光从测量目标表面引导到具有检测表面的检测单元的光学系统，该方法包括：通过使用坐标转换表将指示从测量目标表面行进的光入射到检测表面上的位置的检测表面上的坐标转换成测量目标表面上的坐标的步骤；和通过使用角度转换表将在检测表面上的各坐标处由基准表面反射的光的角度和由测量目标表面反射的光的角度之间的角度差转换成与检测表面上的各坐标对应的测量目标表面上的多个各坐标处的角度差的步骤。

主权项

一种通过使用测量装置对测量目标表面的表面形状进行测量的测量方法，所述测量装置包含第一光学系统和第二光学系统，所述第一光学系统通过使用由光源发射的光照射包含非球面的所述测量目标表面，所述第二光学系统将从所述测量目标表面行进的光引导到具有检测表面的检测单元，所述方法包括：第一步骤，在所述检测表面的共轭面上布置具有已知的非球面形状的基准表面，并且通过所述检测单元在所述检测表面上的各坐标处检测从所述基准表面行进的光的入射到所述检测表面上的角度；第二步骤，在所述共轭面上布置所述测量目标表面，并且通过所述检测单元在所述检测表面上的各坐标处检测从所述测量目标表面行进的光的入射到所述检测表面上的角度；第三步骤，通过使用坐标转换表将指示从所述测量目标表面行进的光入射到所述检测表面上的位置的所述检测表面上的坐标转换成所述测量目标表面上的坐标；第四步骤，通过使用角度转换表将在所述检测表面上的各坐标处的在第一步骤中检测到的角度和在第二步骤中检测到的角度之间的角度差转换成与所述检测表面上的各坐标对应的所述测量目标表面上的多个相应坐标处的角度差；和第五步骤，通过使用在第三步骤中已被转换成的所述测量目标表面上的坐标和在第四步骤中已被转换成的所述测量目标表面上的多个坐标处的角度差的积分计算获得所述测量目标表面的表面形状与已知的非球面形状之间的差分形状，并且将所述差分形状加到所述已知的非球面形状上以计算所述测量目标表面的表面形状。