具有入口气室的固体源容器

摘要

本发明关于具有入口气室的固体源容器，用于从容器中输送一前体流体的容器，包括：一具有一上部容积和一下部容积的内部容积，其中该两个容积是连接的并且该下部容积储存前体；一盖，包括一流体入口将运载气体引导至该容器中，一“T”型流体出口，一具有上部凸缘的侧壁，其中该上部凸缘与该盖接触；一隔离器插入该盖和侧壁中间，其中该侧壁紧邻该上部凸缘设置，并且将该内部容积分隔成一上部容积和一下部容积；和一入口气室与该具有气室腔体的流体入口连接，该流体入口朝着该隔离器开口引导运载气体通过该隔离器并朝着该前体。还公开了一种使用该设备的方法。

主权项

用于从盛放于容器中的前体材料输送含前体流体流的容器，该容器包括：内部容积，其中该内部容积被分隔成一上部容积和一下部容积，其中该上部容积和该下部容积是流体连通的并且该下部容积盛放该前体材料；盖，包括一流体入口其将至少一运载气体引导至该容器的内部容积，一流体出口，和一个内部凹槽，其中该上部容积的至少一部分位于该内部凹槽中；侧壁，具有一上部凸缘，其中该上部凸缘的至少一部分与该盖接触；隔离器，插入该盖和该侧壁之间，其中该隔离器处于该上部凸缘的附近并且将该内部容积分隔成上部容积和下部容积；和入口气室，与该流体入口流体连通，该入口气室具有一气室腔体朝着该隔离器开口以引导该至少一运载气体通过该隔离器并朝向该前体材料，其中该入口气室尺寸设计为与盖的下部表面和该隔离器的上部表面接触以阻止该至少一运载气体旁路通过该隔离器。