各向异性导电膜及其制造方法、以及使用该各向异性导电膜的接合体

摘要

本发明的目的在于提供一种在连接电子部件等和基板时，通过抑制导电性粒子的流动，确保高粒子捕捉率，能够得到优秀的导通可靠性的各向异性导电膜，及使用该各向异性导电膜，并具有较高的粒子捕捉率和优秀的导通可靠性的电子部件等与基板的接合体。本发明的各向异性导电膜，在树脂膜中，于该树脂膜的厚度方向的一个面上，单层排列导电性粒子，上述树脂膜的厚度方向的一个面与所述导电性粒子的中心的距离的10点平均值为9μm以下。本发明的接合体隔着本发明的上述各向异性导电膜电性接合选自电子部件及基板的两种以上。

主权项

一种各向异性导电膜，其特征在于，在树脂膜中，于该树脂膜的厚度方向的一个面上，单层排列导电性粒子，所述树脂膜的厚度方向的一个面与所述导电性粒子的中心的距离的10点平均值为9μm以下，将使用一喷涂装置喷出并通过静电电位付与装置付与了静电电位的导电性粒子，及使用其他喷涂装置喷出的树脂粒子，同时喷涂在被处理面上，由此，在由所述树脂粒子形成的树脂膜中，使所述导电性粒子单层排列，从而得到该各向异性导电膜。