一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置

摘要

本发明涉及一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差补偿装置，属于超精密加工和复杂曲面光学零件加工技术领域。由基座、左侧板、右侧板、上盖板、前盖板、柔性铰链机构、金刚石刀具、压电执行器、电容位移传感器安装座和电容位移传感器组成；所述的机构是一个整体式结构、关于yx平面对称，其中X轴运动平台是一个柔性铰链导向机构，由压电执行器驱动，Z轴运动平台在X轴运动平台上，由杠杆放大机构和柔性铰链导向机构串联，由两个压电执行器同步驱动，电容位移传感器分别检测X轴和Z轴的位移。本发明优点是：X轴和Z轴之间运动解耦且不产生寄生运动，具有高精度和中低频或中高频响的特征。

主权项

一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置，其特征在于：左侧板、右侧板和前盖板分别均与基座、上盖板固定连接，两自由度柔性铰链机构通过螺栓与基座定位固定连接，金刚石刀具与两自由度柔性铰链机构固定连接，X向压电执行器通过X向U型块分别与两自由度柔性铰链机构中的左立柱、右立柱上的Ｕ型槽、用Ｘ向预紧螺钉固定连接；Z向压电执行器一、Z向压电执行器二分别通过Z向U型块一、Z向U型块二、与两自由度柔性铰链机构中X向运动平台后部的两个U型槽、用Z向预紧螺钉一、Z向预紧螺钉二固定连接，传感器支架与两自由度柔性铰链机构后部左侧或右侧固定连接，X向电容位移传感器与传感器支架上的圆孔固定连接，其测头正对X向运动平台， Z向电容位移传感器与柔性铰链机构中X向运动平台后部的圆孔固定连接，其测头正对Z向运动平台。