| 发明名称 | 可调间隔电容耦合等离子体处理室的耗材隔离环 | ||
| 摘要 | 描述了可调间隔电容耦合等离子体处理室的耗材隔离环。该耗材隔离环配置为被支撑于适配固定接地环的可移动接地环的台阶之上。该耗材隔离环配置为电隔离可移动接地环和可移动衬底支撑组件的介电环。 | ||
| 申请公布号 | CN202307788U | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201120221717.0 | 申请日期 | 2011.06.27 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 迈克尔·C·凯洛格;阿列克谢·马拉什塔内夫;拉金德尔·迪恩扎 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
| 主权项 | 可调间隔电容耦合等离子体处理室的耗材隔离环，所述耗材隔离环具有内径大约14.8英寸、外径大约15.1英寸、高大约0.3英寸的矩形截面，以及设置于所述耗材隔离环的下外缘、方位角间距为120°的三个凹处，其中：每个凹处具有直径大约为0.1英寸的半圆柱壁部分，所述半圆柱壁部分的中心轴位于离所述耗材隔离环的中心轴大约7.5英寸的半径上；每个凹处具有在所述耗材隔离环外表面上有开口的直壁部分，所述直壁部分宽度等于所述半圆柱壁部分的直径，并且与所述半圆柱壁部分相连接；以及每个凹处深度大约为0.09英寸。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||