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Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets, insbesondere zur Behandlung oder Aktivierung von Durchgangslöchern flächiger Substrate, aufweisend mindestens ein mit Prozessgas durchströmtes Entladungsrohr (1), wobei die Wandung des Entladungsrohres (1) aus dielektrischem Material besteht, wobei eine erste Mittelelektrode (2), zentrisch im Inneren des Entladungsrohres (1) in dessen Längsrichtung sich ersteckend angeordnet ist, wobei eine zweite Gegenelektrode (3) in axialer Richtung die Wandung des Entladungsrohres (1) konzentrisch umschließend angeordnet ist, derart, dass erste Mittelelektrode (2), Entladungsrohr (1) und zweite Gegenelektrode (3) einen koaxialen und im Querschnitt konzentrischen Aufbau mit einer offenen Stirnseite bilden, an der der Plasma-Jet erzeugbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass beabstandet zu der stirnseitigen Öffnung des Entladungsrohres (1) eine Aufnahme (7) für die zu behandelnden Substrate (8) angeordnet ist, und dass, wiederum beabstandet von der Aufnahme (7), an deren von der Stirnseite des Entladungsrohres (1) abgewandten Seite, eine Hilfselektrode (6) vorgesehen ist.
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