| 发明名称 | 一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10-2Ω·m)的同时降低了生产成本；此薄膜具有镓掺杂浓度低、热稳定性高、抗老化能力强、使用寿命长、原材料价格低廉等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN102534496A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201210065335.2 | 申请日期 | 2012.03.13 |
| 申请人 | 大连理工大学 | 发明人 | 叶飞;侯波;曹善鹏;张文征 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C03C17/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人 | 赵淑梅 |
| 主权项 | 一种高热稳定性透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。 | ||
| 地址 | 116024 辽宁省大连市高新区凌工路2号 | ||