氩气的提纯方法及提纯装置

摘要

本发明提供能够通过低成本和较少能量以高纯度对回收的氩气进行提纯的方法和装置。在对至少含有氧、氢、一氧化碳和氮的氩气进行提纯时，如果氩气中的氧量在与氢及一氧化碳的全部进行反应所需的氧的设定量以下，则添加氧以使该氧量超过设定量，然后采用第1催化剂使该反应进行。接着，在氩气中添加一氧化碳以使一氧化碳量超过与通过上述反应而残留的全部氧进行反应所需的一氧化碳的设定量，然后采用第2催化剂使该反应进行。然后，使氩气中的至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法被吸附剂吸附。第1催化剂和第2催化剂中的至少一方为钌催化剂，使用钌催化剂时的反应温度在200℃以下。

主权项

氩气的提纯方法，该方法是对至少含有氧、氢、一氧化碳和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法，其特征在于，判断所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢及一氧化碳的全部进行反应所需的氧的设定量，在所述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧以使该氧量超过所述设定量，然后使用第1催化剂使所述氩气中的一氧化碳及氢与氧进行反应，以残留氧的状态生成二氧化碳和水，然后添加一氧化碳以使所述氩气中的一氧化碳量超过与残留的全部氧进行反应所需的一氧化碳的设定量，然后通过使用第2催化剂使所述氩气中的氧与一氧化碳进行反应，以残留一氧化碳的状态生成二氧化碳，然后使所述氩气中至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法被吸附剂吸附，所述第1催化剂和第2催化剂中的至少一方为钌催化剂，使用所述钌催化剂时的反应温度在200℃以下。