发明名称 厚度量测方法
摘要 本发明公开了一种厚度量测方法,包含一校准步骤、一实测步骤,以及一判读步骤。在该校准步骤中先借由设置于一标准试片相反两侧的两激光测距仪测量该标准试片,再于该实测步骤中以同样的方式测量一待测试片,接着将该实测步骤与该校准步骤所测得的数值进行相减,相减后的数值就是该标准试片与该待测试片的厚度差值,借此能够以一不具有液晶层的标准试片为基准,用于量测具有液晶层的待测试片以准确测得该液晶层的厚度。
申请公布号 CN102538686A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201010591436.4 申请日期 2010.12.09
申请人 财团法人金属工业研究发展中心 发明人 陈进和
分类号 G01B11/06(2006.01)I 主分类号 G01B11/06(2006.01)I
代理机构 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 代理人 丁惠敏
主权项 一种厚度量测方法,包含一个校准步骤、一个实测步骤,以及一个判读步骤,其特征在于:该校准步骤是将一个标准试片设置于两个激光测距仪间,该标准试片包括一个彩色滤光片层、一个设置于该彩色滤光片层上的薄膜晶体管层,以及两片分别设置于该彩色滤光片层与该薄膜晶体管层上的玻璃基板,利用所述分别设置于该标准试片相反两侧的激光测距仪量测该标准试片的彩色滤光片层与该薄膜晶体管层到相对应激光测距仪的距离,并将所述激光测距仪的量测值相加以取得一个基准值,该实测步骤是将一个待测试片取代该标准试片,该待测试片包括一个液晶层、分别设置于该液晶层相反两面的一个彩色滤光片层与一个薄膜晶体管层,以及两片分别设置于该彩色滤光片层与该薄膜晶体管层上的玻璃基板,利用所述激光测距仪量测该待测试片的彩色滤光片层与该薄膜晶体管层到相对应激光测距仪的距离,并将所述激光测距仪的量测值相加以取得一个比较值,该判读步骤是将该比较值与该基准值相减以计算出该待测试片与该标准试片的厚度差值。
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