MEMS开关

摘要

本发明提出了一种MEMS开关，其中，在衬底上方设置至少第一、第二和第三信号线，每条信号线端接于连接区。下部致动电极结构位于衬底上方。可移动接触电极悬置于连接区上方，以实现或断开三个连接区中至少两个连接区之间的电接触，上部致动电极结构设置在下部致动电极上方。对三条或更多条信号线的使用使得能够实现对称的致动力和/或使得能够利用单个可移动电极实现多种开关功能。

主权项

一种MEMS开关，包括：衬底(2)；至少第一、第二和第三信号线(10)，在衬底上方，每一条信号线端接于连接区(21)；下部致动电极结构(18)，在衬底上方；可移动接触电极(16)，悬置于连接区(21)上方，用于实现或断开三个连接区(21)中至少两个连接区之间的电接触；以及上部致动电极结构(18)，设置在下部致动电极上方，其中，信号线(10)包括四条径向连接线，四条径向连接线在其连接区处连接为两对，下部致动电极结构(18)包括在径向连接线之间的弓形部分，所述弓形部分一起具有由径向信号线中断的圆形外部形状，其中开关用于实现或断开两对信号线之间的电接触。