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发明名称
摘要
申请公布号	JP4968335(B2)	申请公布日期	2012.07.04
申请号	JP20090519256	申请日期	2008.06.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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