发明名称 | 湿度检测传感器 | ||
摘要 | 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于,具备:基板(51);传感器部,其设置在所述基板(51)上,由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54),并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A;保护层(56),其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上,在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中,具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。 | ||
申请公布号 | CN102549416A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
申请号 | CN201080040905.1 | 申请日期 | 2010.11.26 |
申请人 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 发明人 | 森田澄人;和贺聪;佐藤崇;牛肠英纪 |
分类号 | G01N27/22(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/22(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 刘建 |
主权项 | 一种湿度检测传感器,其特征在于,具备:基板;传感器部,其设置在所述基板上,由一对电极夹持介电常数根据湿度而发生变化的高分子感湿膜,并且具有所述高分子感湿膜局部向外界露出的感湿区域;保护层,其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极上,在所述感湿区域以外的区域中,具有与由所述一对电极夹持的高分子感湿膜的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜的区域存在于所述上侧的电极附近。 | ||
地址 | 日本东京都 |