板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构

摘要

本发明提供了板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其能将硅片从料架上搬运至出片碳板，同时能将出片碳板上已处理的硅片搬运至下料装置，其工作效率高，硅片搬运可靠、碎片率低。其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组和搬运横梁，直线模组轴接安装有伺服电机，直线模组安装于直线模组支架，直线导轨固定于直线导轨支架、并与直线模组平行，搬运横梁一端通过直线模组连接板安装于直线模组、另一端通过滑块安装于直线导轨，搬运横梁的外侧壁安装有硅片拾取装置。

主权项

板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，所述上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组和搬运横梁，所述直线模组轴接安装有伺服电机，所述直线模组安装于直线模组支架，所述直线导轨固定于直线导轨支架、并与所述直线模组平行，所述搬运横梁一端通过直线模组连接板安装于所述直线模组、另一端通过滑块安装于所述直线导轨，所述搬运横梁的外侧壁安装有硅片拾取装置。