一种田字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构

摘要

一种“田”字形双轴谐振式硅微机械加速度计，其目的在于设计制作一种高灵敏度和高分辨率的双轴硅微机械加速度计。该结构的特点在于：(1)“田”字型质量块结构，最大化了质量块的体积，能更加有效的将加速度转化为惯性力。并且，结构整体呈对称分布，有利于抗噪声、抑制温度漂移。(2)结构外围“几”字型支撑梁有利于结构残余应力和温度应力的释放，减小了敏感方向上的支撑刚度。(3)谐振器一端“口”字型类弹簧梁的使用，降低了外部冲击对梁的影响，并对结构的残余应力有释放作用。(4)谐振器中音叉根部的弧形结构有效的减少了能量耦合，提高了谐振器的机械品质因数，易于实现闭环控制。

主权项

一种“田”字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构，其特征在于：包括基底、质量块、4个“几”字型支撑梁、4个“口”字型类弹簧梁、4个细颈梁、8个一级放大杠杆、8个二级放大杠杆、4个谐振器、20个锚点；其中的4个锚点将质量块固定在基底上，质量块通过一级放大杠杆、二级放大杠杆和谐振器一端以细颈梁相连，谐振器另一端通过口字型类弹簧梁与锚点相连；谐振器由音叉、驱动结构和检测结构组成，音叉根部采用弧状结构。