带电粒子的影像能量过滤器以及使用其的分光计

摘要

本发明涉及带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面的环状能量分析器，优选地具有半球状分析器。为了提供影像能量过滤器以及具有这样的影像能量过滤器的分光计，其具有更高水平的位置和角度分辨率，且可以更大的接受角度操作，根据本发明提出：提供用于带电粒子的镜子部件，且其被如此设置以使通过出口平面离开环状能量分析器的带电粒子由该镜子部件被反射回该环状能量分析器，从而该带电粒子又一次在相反进行方向穿过环状能量分析器。

主权项

一种带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面和环状能量分析器，优选地是具有半球状分析器，其特征在于，为带电粒子提供了镜子部件，所述镜子部件被如此设置：以使通过所述出口平面离开所述环状能量分析器的带电粒子通过所述镜子部件被反射回所述环状能量分析器，从而带电粒子在相反行进方向又一次穿过所述环状能量分析器。