| 发明名称 | 薄膜体声波谐振器、通信器件和射频模块 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器、通信器件和射频模块。该薄膜体声波谐振器包括衬底，所述衬底上依次设置有下电极层、压电薄膜和上电极层；所述衬底与下电极层之间层叠设置有2个或2个以上的空气隙。本发明实施例提供的薄膜体声波谐振器在具有较高功率容量的同时，可具有较小的体积和结构稳定性，可适用于大功率容量需求的应用中。 | ||
| 申请公布号 | CN102545827A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201210000816.5 | 申请日期 | 2012.01.04 |
| 申请人 | 华为技术有限公司 | 发明人 | 王建;张宗民 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 刘芳 |
| 主权项 | 一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上依次层叠设置有下电极层、压电薄膜和上电极层；所述衬底与下电极层之间设置有2个或2个以上的空气隙。 | ||
| 地址 | 518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼 | ||