阵列测试装置、测量其基板的点位置的方法以及测量由照相机组件拍摄的点坐标的方法

摘要

公开了阵列测试装置、阵列测试装置的基板上点位置的测量方法以及用照相机组件拍摄的点坐标的测量方法。该阵列测试装置具有支撑待测试基板的测试部分。至少一个调制头部设置成与测试部分邻近以检测测试部分上设置的基板的缺陷部分。调制头部具有固定块。照相机组件联接到固定块，在该固定块上以预定间隔设置基准照相机以及至少一个相邻照相机。坐标测量调制组块可拆卸地联接到照相机组件和基板间的固定块。坐标测量调制组块具有与构成照相机组件的照相机的焦距对应设置位置指示部件。在位置指示部件上形成将由基准照相机拍摄的基准位置标记以及将由相邻照相机拍摄的至少一个邻近位置标记。

主权项

一种阵列测试装置，其包括：支撑待测试基板的测试部分；至少一个调制头部，其设置成与所述测试部分相邻，以检测在所述测试部分上设置的基板的缺陷部分；以及测试调制组块；其中，所述调制头部包括：固定块；照相机组件，其与所述固定块联接，并且在该照相机组件上以预定间隔设置基准照相机和至少一个相邻照相机；和坐标测量调制组块，其可拆卸地联接到所述照相机组件和基板之间的固定块，并具有与构成照相机组件的照相机的每个焦距相应设置的位置指示部件，其中，在所述位置指示部件上形成将由基准照相机拍摄的基准位置标记以及将由所述相邻照相机拍摄的至少一个邻近位置标记，以及所述测试调制组块代替所述坐标测量调制组块联接到所述固定块的底面，并上下移动以执行对基板上形成的缺陷电极位置的指示。