发明名称 Inspection apparatus for detecting defects in transparent substrates
摘要
申请公布号 KR101161881(B1) 申请公布日期 2012.07.03
申请号 KR20057016173 申请日期 2004.03.04
申请人 发明人
分类号 G01J3/30;G01N21/41;G01N21/896;G01N21/95;G02F1/13 主分类号 G01J3/30
代理机构 代理人
主权项
地址