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经营范围
发明名称
Inspection apparatus for detecting defects in transparent substrates
摘要
申请公布号
KR101161881(B1)
申请公布日期
2012.07.03
申请号
KR20057016173
申请日期
2004.03.04
申请人
发明人
分类号
G01J3/30;G01N21/41;G01N21/896;G01N21/95;G02F1/13
主分类号
G01J3/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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