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发明名称 Apparatus of gas injection and shower head using the same
摘要
申请公布号 KR101162055(B1) 申请公布日期 2012.07.03
申请号 KR20090086652 申请日期 2009.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/02;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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