发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERN OF THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101150639(B1) 申请公布日期 2012.07.03
申请号 KR20100057505 申请日期 2010.06.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/027 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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