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发明名称
复合式清洗装置
摘要
一种复合式清洗装置,系包含:一入料组件,具有一送料匣;一出料组件,具有一收料匣;一输送台,一端衔接于该入料组件之送料匣,另一端衔接于该出料组件之收料匣;一空气清洗台,设于该送料匣与收料匣之间,并位于该输送台上方,该空气清洗台具有一入口侧及一出口侧,该入口侧与出口侧之间设有至少一输气件及至少一抽气件,且该入口侧及出口侧分别设有用以形成气墙的一注气件;及一电浆清洗台,设于该空气清洗台与收料匣之间,用以送出供清洗用之电浆。
申请公布号
TWM432925
申请公布日期
2012.07.01
申请号
TW101205023
申请日期
2012.03.20
申请人
冠诠科技股份有限公司 新竹县竹北市自强三路31号3楼
发明人
苏瑞斌
分类号
H01L21/67
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
陈启舜 高雄市苓雅区中正一路284号12楼
主权项
地址
新竹县竹北市自强三路31号3楼
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