| 摘要 |
一种可移动式废气处理系统，适用各类电子产品制程设备，包括一可移动式载具、一抽取单元、一处理单元、一过滤单元及一风机单元。抽取单元、处理单元、过滤单元及风机单元皆设置于可移动载具上。抽取单元可随意调整角度及位置，以吸附电子产品制程设备中一待清理工件产生的气体及/或粉尘。处理单元用于与气体中的有毒气体产生化学性反应以产生无毒气体。过滤单元用于滤除粉尘。风机单元提供抽取单元的吸力来源。本创作之可移动式废气处理系统可配合电子产品制程设备中一待清理工件的位置作调整及随意移动，因此具有高度机动性及使用性。 |
