发明名称 搬运机构、搬运装置及真空处理装置
摘要 本发明系提供一种搬运装置系可防止因为灰尘而污染搬运对象物,而将搬运对象物搬运到正确的位置上。;本发明系藉由第1及第2平行四边形连杆13、14所构成。第2平行四边形连杆14系使用第1平行四边形连杆13之环10而构成,4边的长度相等,沿着线性导引12a直线伸缩。在第1及第2平行四边形连杆13、14的共有环10的两端的支点7c、9c上,第1平行四边形连杆13的环7a、9a、和第2平行四边形连杆14的环7b、9b,系分别以90°的拘束状态旋转的方式而构成。于和第1平行四边形连杆13的环10相对的环8b的端部的支点2,设置有以90°的拘束状态旋转环8b的方式而构成的手臂8a。
申请公布号 TWI367146 申请公布日期 2012.07.01
申请号 TW095134983 申请日期 2006.09.21
申请人 爱发科股份有限公司 日本 发明人 南展史;藤村和广
分类号 B23Q7/00;B65G25/04 主分类号 B23Q7/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本