净化基材载件之方法与设备

摘要

于本发明第一实施态样中，系提供一基材载件，其包含一外壳，其可密封且可遮罩至少一基材。该基材载件包括一通至该外壳的第一埠口，且其适于在基材载件关闭时使气体流入该外壳。本发明亦提供其他多种实施态样。