光阻保护膜形成用组成物及使用此组成物之光阻图案的形成方法

摘要

【课题】提供一种光阻保护膜形成用组成物、及使用该光阻保护膜形成用组成物之光阻图案的形成方法，该光阻保护膜形成用组成物对光阻膜的损伤少、能够形成良好的矩形形状之光阻图案，且不论光阻组成物中的树脂为何种构造都能够使用而没有任何限制。;【解决手段】一种光阻保护膜形成用组成物，其含有(a)硷可溶性聚合物、及(b)醚类溶剂，以及使用该此组成物之光阻图案的形成方法。