膜涂布装置及膜涂布方法

摘要

本发明系一种膜涂布装置，包含：涂布容器，用以将被涂布基板导入内部，对此基板进行膜涂布；涂布液容器，用以保存涂布液；及液体输送系统，将涂布液自该涂布液容器输送至该涂布容器；其中具有一机构，可抑制经涂布之膜内含有氧及水分其中至少一者。