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发明名称 COPPER MATERIAL FOR USE AS SPUTTERING TARGET AND PROCESS FOR PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 KR20120070586(A) 申请公布日期 2012.06.29
申请号 KR20127009380 申请日期 2010.09.16
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD. 发明人 HIROSE KIYOSHIGE;KIKUCHI DAISUKE;TAKAHASHI ISAO;KANAMORI HIROAKI;ZHOU WEIMING;NAKAJIMA AKIFUMI
分类号 C23C14/34;C22C9/00;C22F1/08 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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