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Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Bearbeitungslasers (1) mit einer durch eine Führungsmaschine relativ zu einem zu bearbeitenden Werkstück (7) beweglichen Scanner-Optik (2b), die nach dem Prinzip des pre-objektive-scanning oder des post-objective-scanning arbeitet, wobei die Vorrichtung ferner aufweist: – mindestens einen mit der Scanner-Optik (2b) mitbeweglichen Projektor (10), der dazu dient, Messlicht (11) in Form von Messstrukturen auf das zu bearbeitende Werkstück (7) zu projizieren, – einen mit der Scanner-Optik (2b) mitbeweglichen Bildsensor (18), der sensitiv im Wellenlängenbereich des vom Projektor (10) abgestrahlten Messlichts (11) ist, – wobei die Scanner-Optik (2b) eine teildurchlässige Ablenkungseinheit (4a), die für den Wellenlängenbereich des Messlichts (11) durchlässig und für den Wellenlängenbereich des eines Bearbeitungslaserstrahls (6) reflektierend ist, und eine aktive Ablenkungseinheit (4b), die für den Wellenlängenbereich des Messlichts (11) und für den Wellenlängenbereich des Bearbeitungslaserstrahls (6) reflektierend ist, aufweist, und – wobei der Strahlengang des Bearbeitungslaserstrahls (6) von dem Bearbeitungslaser...
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