发明名称 Verfahren zur Beseitigung von Fehlerquellen der Systemkorrektur einer Koordinaten-Messmaschine
摘要 Verfahren zur Beseitigung von Fehlerquellen der Systemkorrektur einer Koordinaten-Messmaschine, mit folgenden Schritten: a) dass zu einer Anzahl j von Referenzstrukturen (33) auf einem starren Referenzobjekt (30) in einer Anfangsorientierung k = 0 des Referenzobjekts (30) die Anfangskoordinaten r→ 0 bestimmt werden; b) dass in einer Anzahl k ≥ 3 von jeweils unterschiedlichen Orientierungen des Referenzobjekts (30) die Koordinaten r→ k der Referenzstrukturen (33) als Kalibrierkoordinaten bestimmt werden, wobei die unterschiedlichen Orientierungen durch mindestens eine Drehung um jeweils eine Achse und mindestens eine Verschiebung eingestellt werden; c) dass die Anfangskoordinaten r→ 0 und die Kalibrierkoordinaten mit einer koordinaten-abhängigen Korrekturfunktion beaufschlagt werden, welche als eine Linearkombination mit zunächst unbekannten Fitparametern und einer Anzahl N von vorgegebenen, linear unabhängigen Fitfunktionen beschrieben wird, wobei aus den Fitfunktionen oder einer Auswahl davon keine Linearkombinationen gebildet werden können, die für alle im Schritt d durchzuführende Dreh- und Verschiebefunktionen in sich selbst übergehen d) dass die mit...
申请公布号 DE102007000999(B4) 申请公布日期 2012.06.28
申请号 DE200710000999 申请日期 2007.12.05
申请人 VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH 发明人 HEIDEN, MICHAEL;RINN, KLAUS, PROF. DR.
分类号 G01B21/04;G01B11/03 主分类号 G01B21/04
代理机构 代理人
主权项
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