| 摘要 |
<p>Ein Pulverzufuhrratensensor umfasst eine Fläche oder Membran und ist so konfiguriert, dass er eine Pulverzufuhrrate erfasst. Es wird ein Sensorverfahren zum Messen der Pulverzufuhrrate während eines Materialabscheidungsprozesses offenbart, das Folgendes umfasst: Leiten von Pulver zu einer Fläche, Erzeugen von akustischen Schwingungsimpulsen, die durch das Pulver verursacht werden, das die Fläche berührt, Erfassen der akustischen Schwingungsimpulse, Umwandeln der akustischen Schwingungsimpulse in ein elektrisches Signal und Messen des elektrischen Signals, um die Pulverzufuhrrate zu bestimmen.</p> |
