Haltevorrichtung für Substrate sowie Verfahren zur Beschichtung eines Substrates

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung für zu beschichtende Substrate, die eine Auflagefläche für das zu beschichtende Substrat umfasst. Die Haltevorrichtung ist beispielsweise als Platte ausgestaltet, auf der das Substrat aufliegt, die dabei eine oder mehrere Aperturen, z. B. Durchbohrungen, Nuten etc. aufweist, über die ein Druckgradient zwischen Substratseite und der gegenüber liegenden Seite der Haltevorrichtung eingestellt werden kann. Dadurch ist eine temporäre Fixierung des Substrates durch Ansaugen auf der Haltevorrichtung möglich. Ebenso betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrates, das sich der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung bedient.