| 摘要 |
<p>Ultraschalltransducer zum Umwandeln zwischen elektrischer und akustischer Energie, wobei der Transducer aufweist: ein Substrat (12); eine Membran, die auf dem Substrat (12) abgestützt ist, wobei ein Hohlraum (16) die Membran von dem Substrat (12) trennt; zwei Elektroden (18, 20), wobei sich die Elektroden auf gegenüberliegenden Seiten des Hohlraums (16) befinden; und eine Isolationsschicht (14, 28), die eine der Elektroden (18, 20) von dem Hohlraum (16) trennt; wobei die eine Elektrode (18, 20) mindestens zwei leitende oder halbleitende Elektrodenschichten (22, 24), die in ohmschem Kontakt miteinander sind, aufweist, wobei die mindestens zwei Elektrodenschichten (22, 24) eine erste Schicht (24) und eine zweite Schicht (22) aufweisen, wobei die erste Schicht (24) einen größeren spezifischen Widerstand als die zweite Schicht (22) aufweist; und die erste Schicht (24) in Kontakt mit der Isolationsschicht (14, 28) in denjenigen Regionen ist, wo die Isolationsschicht (14, 28) benachbart zu dem Hohlraum (16) mit hohen elektrischen Feldern ist,...</p> |
