Mikromechanischer Sensor zur Messung von Drehraten sowie entsprechendes Verfahren

摘要

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor zur Messung von Drehraten. Der mikromechanische Sensor umfasst eine erste und eine zweite seismische Masse, wobei die erste und zweite seismische Masse mittels eines Federelementes miteinander verbunden sind, ein erstes und zweites Antriebsmittel zum Antrieb der ersten und zweiten seismischen Masse in einer ersten Ebene, wobei zumindest ein Antriebsmittel mit zumindest einer der seismischen Massen im Wesentlichen in konstantem Abstand verbunden ist, sowie ein Kompensationsmittel zur Kompensation auf das erste und/oder zweite Antriebsmittel senkrecht zur ersten Ebene wirkender Störkräfte. Die vorliegende Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Messung von Drehraten, ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors sowie eine Verwendung eines mikromechanischen Sensors.