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Ein kontaktfreies dreidimensionales Ultrapräzisions-Tastsystem basierend auf einer sphärischen kapazitiven Platte weist eine Sonde (12) auf, die einen sphärischen Tastkopf (5), ein Taststiftrohr (6), ein aktives Abschirmungsrohr (8), einen Signalleitstab (7), ein Isolierelement (9), einen Taststifthalter (10) und einen Sondenkörper (11) umfasst. Das Taststiftrohr (6), das aktive Abschirmungsrohr (8) und der Signalleitstab (7) sind koaxial zusammengesetzt und gegeneinander mit einem Isolierelement (9) isoliert. Der sphärische Tastkopf (5) ist an einem Ende des Isolierelements (9) angebracht und weist über seine Oberfläche eine sphärische kapazitive Platte auf. Das kapazitive Signal, das von der sphärischen kapazitiven Platte kommt, wird über den Signalleitstift (7) ausgegeben. Das aktive Abschirmungsrohr (8) wird von der Signalumwandlungs- und -verarbeitungsschaltung (13) des Tastsystems so angesteuert, dass es mit dem Signalleitstab (7) äquipotentiell gehalten wird, wodurch der Einfluss einer parasitären Kapazität und einer räumlichen elektromagnetischen Interferenz ausgeschaltet werden kann.
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