摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Strahlungsrichtungssensor 1 sowie ein entsprechendes Verfahren zur Bestimmung des Einfallswinkels einer Strahlungsquelle. Aufgabe der Erfindung ist es, einen Strahlungsrichtungssensor 1 zu schaffen, der leicht integrierbar in die Geräte und Einrichtungen ihres jeweiligen Einsatzgebiets ist, einen sehr einfachen Aufbau aufweist und trotz hoher räumlicher Auflösbarkeit den Aufwand für die Auswertung minimiert. Desweiteren soll ein Verfahren angegeben werden, um mit einer solchen Vorrichtung den Einfallswinkel und ggf. die Strahlungsintensität einer Strahlungsquelle zu bestimmen. Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Strahlungsrichtungssensor 1, der in einer Halbleiterschicht 6 eine Diodenanordnung 5 von Avalanche-Fotodioden 4 und eine anwendungsspezifische, integrierte Schaltung, eine Distanzschicht 8, eine darauf befindliche Blendenstruktur 9 sowie Mittel zur elektrischen Anbindung des Strahlungsrichtungssensors 1 enthält, wobei diese direkt übereinanderliegenden Schichten und Strukturen in Ihrer Form, Größe bzw. Dicke aufeinander abgestimmt sind. Ein entsprechendes Mess- und Auswerteverfahren wird angegeben.
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