一种高精度横向剪切干涉仪相移装置

摘要

一种高精度横向剪切干涉仪相移装置涉及一种横向剪切干涉仪中的高精度相移装置，该装置包括：剪切光栅、掩模板组件和基座，一维小行程高分辨率位移组件、一维大行程位移组件和相移器调平组件；剪切光栅位于一维小行程高分辨率位移组件内并固定在一维小行程高分辨率位移组件上；掩模板组件固定在一维小行程高分辨率位移组件底部，与一维小行程高分辨率位移组件保持相对静止，一维小行程高分辨率位移组件固定在一维大行程位移组件上，一维大行程位移组件固定在基座上，相移器调平组件与基座底部连接。本发明具有超高运动分辨力、大运动行程、高动态响应，并且能够在相对较大行程范围内进行高精度微调定位，同时轴向尺寸紧凑的特点。

主权项

一种高精度横向剪切干涉仪相移装置，该装置包括：剪切光栅(1)、掩模板组件和基座(4)，其特征在于，该装置还包括：一维小行程高分辨率位移组件(2)、一维大行程位移组件(3)和相移器调平组件(5)；所述剪切光栅(1)位于一维小行程高分辨率位移组件(2)内并固定在一维小行程高分辨率位移组件(2)上；掩模板组件固定在一维小行程高分辨率位移组件(2)底部的固定基板(7)上，与一维小行程高分辨率位移组件(2)保持相对静止，一维小行程高分辨率位移组件(2)固定在一维大行程位移组件(3)上，一维大行程位移组件(3)固定在基座(4)上，相移器调平组件(5)与基座(4)底部连接。