热式流体流量传感器

摘要

本发明提供一种发热电阻体和测温电阻体使用金属薄膜且提高了检测灵敏度的热式流体流量传感器。做成在硅衬底(2)上形成有发热电阻体(3)、测量发热电阻体(3)的温度的发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5a)、下游侧测温电阻体(5b)和空气测温电阻体(6)的构造，在上述发热电阻体(3)和其引出布线内配置多个浮岛状的绝缘部。

主权项

一种热式流体流量传感器，用于测量空气流量，其具有发热电阻体和设置在上述发热电阻体旁边的测温电阻体，其特征在于，具有：半导体衬底；第一端子电极及第二端子电极；形成在上述半导体衬底上的第一绝缘膜；形成在上述第一绝缘膜上的第二绝缘膜；形成在上述第二绝缘膜上的第三绝缘膜；分别形成在上述第二绝缘膜上且由导体膜构成的发热电阻体和测温电阻体；将上述发热电阻体和上述第一端子电极连接的第一引出布线；将上述测温电阻体和上述第二端子电极连接的第二引出布线；以及在从上述热式流体流量传感器的上面观察时设置在上述发热电阻体、上述测温电阻体、上述第一引出布线或者上述第二引出布线的内部，且周围被上述导体膜包围的第一浮岛状绝缘部；上述第三绝缘膜的蚀刻速度比上述第二绝缘膜的蚀刻速度快，上述第三绝缘膜的蚀刻速度与上述第二绝缘膜的蚀刻速度之比为3以上。