具有抗蚀性绝热层的温度受控衬底夹持器

摘要

一种用于在处理系统中支撑衬底的衬底夹持器包括具有第一温度的温度受控支撑基座、与温度受控支撑基座相对并且被配置为支撑衬底的衬底支撑、以及耦合到衬底支撑并且被配置为将衬底支撑加热到高于第一温度的第二温度的一个或多个加热元件。抗蚀性绝热体被置于温度受控支撑基座和衬底支撑之间，其中抗蚀性绝热体包括被配置为抗含卤素气体腐蚀的材料组分。

主权项

一种用于在处理系统中支撑衬底的衬底夹持器，包括：具有第一温度的温度受控支撑基座；与所述温度受控支撑基座相对并且被配置为支撑所述衬底的衬底支撑；耦合到所述衬底支撑并且被配置为将所述衬底支撑加热到高于所述第一温度的第二温度的一个或多个加热元件；以及置于所述温度受控支撑基座和所述衬底支撑之间的抗蚀性绝热体，其中所述抗蚀性绝热体包括被配置为抗含卤素气体腐蚀的材料组分，其中，所述绝热体的所述材料组分包括丙烯酰基材料。