发明名称 Method and structure for forming high-performance fets with embedded stressors
摘要
申请公布号 GB2486839(A) 申请公布日期 2012.06.27
申请号 GB20120004634 申请日期 2010.09.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KANGGUO CHENG;ALI KHAKIFIROOZ;BRUCE DORIS;GHAVAM G SHAHIDI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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