发明名称 |
光电转换元件及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种光电转换元件及其制造方法。该光电转换元件包括基底层与有源层。有源层设置在基底层上。有源层的接收光面具有表面组织结构。表面组织结构包含重复的多个凹陷单元,每个该凹陷单元包含交叉的三个平面,在交叉处形成有凹尖点。此三个平面相互垂直或近似相互垂直。本发明采用角耦结构当作凹陷单元,可以增加对入射光产生三次以上反射的区域,能有效提升对入射光的吸收。 |
申请公布号 |
CN101894870B |
申请公布日期 |
2012.06.27 |
申请号 |
CN200910141070.8 |
申请日期 |
2009.05.18 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
张佑嘉;陈春弟;朱仁佑;叶昱昕 |
分类号 |
H01L31/04(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;H01L31/08(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
邱军 |
主权项 |
一种光电转换元件,包括:基底层;以及有源层,设置在该基底层上,该有源层的接收光面具有表面组织结构,其中该表面组织结构包含重复的多个凹陷单元,每个该凹陷单元包含交叉的三个平面,在交叉处形成有凹尖点,该三个平面之间任两个平面的法向量夹角介于60度至120度的范围。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |