| 发明名称 |
Epitaxial deposition onto semiconductor wafers through an interaction between the wafers and the support material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3142596(A) |
申请公布日期 |
1964.07.28 |
| 申请号 |
US19600061505 |
申请日期 |
1960.10.10 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED |
发明人 |
THEUERER HENRY C. |
| 分类号 |
C23C16/00;C30B23/00;C30B25/02;C30B25/08;H01C17/20;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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